1200-PE60 PECVD系統
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產品描述
PECVD系統就是為了使傳統的化學氣象沉積（CVD）反應溫度降低，在普通CVD裝置的前端加入RF射頻感應裝置將反應氣體電離，形成等離子體，利用等離子體的活性來促進反應，所以這個系統稱為增強型化學氣相沉積系統（PECVD）。
該型號PECVD綜合了國內大多數廠家的管式PECVD系統的優點，在PECVD前端加入了氣體預熱區，實驗證明此結構沉積速度快，成膜質量好，針孔較少，不易龜裂。
技術參數
| 管式爐（加熱部分）參數介紹 | |
| 爐膛模式 | 開啟式爐膛 |
| 顯示模式 | 7英寸觸摸屏 |
| 極限溫度 | 1200℃ |
| 工作溫度 | ≤1150℃ |
| 升溫速率 | 建議10℃/Min Max：30℃/Min |
| 爐體移動 | 無極調速，根據工藝自動移動 |
| 輔助預熱 | 加熱區200mm（足夠長度才能保證溫度準確度） |
| 溫區長度 | 440mm（沉積區），200mm（預熱區） |
| 爐管規格 | 80*2000 mm |
| 控溫精度 | ±1℃ |
| 密封方式 | 快捷法蘭連接密封 |
| 溫度曲線 | 30段"時間—溫度曲線"任意可設 |
| 控制系統 | 加熱控制、爐體移動、流量控制、真空系統按照設定一鍵自動完成整個工藝處理 |
| 預存曲線 | 可預存15條工藝曲線，直接保存并隨時調用 |
| 測溫元件 | K型熱電偶 |
| 爐膛材料 | 高純氧化鋁纖維 |
| 加熱材料 | 摻鉬鐵鉻鋁合金加熱絲 |
| 射頻電源功率 | |
| 信號頻率 | 13.56 MHz±0.005% |
| 功率輸出范圍 | 0-500W |
| 功率穩定度 | ±0.1% |
| 諧波分量 | ≤-50dbc |
| 供電電壓 | 單相交流（187V-253V） 頻率50/60HZ |
| 整機效率 | >=70% |
| 功率因素 | >=90% |
| 冷卻方式 | 強制風冷 |
| 控制方式 | 預先設定功率大小，自動運行 |
| 真空部分 | |
| 真空度控制 | 自動平衡到用戶設定真空度。 |
| 正壓保護 | 工作腔內壓力實時監測，大于設定值自動放氣 |
| 工作電電壓 | 220V±10% 50~60HZ |
| 功率 | 500W |
| 抽氣速率 | 2L\s |
| 進氣口口徑 | KF25 |
| 排氣口口徑 | KF25 |
| 轉速 | 1450rpm |
| 系統真空度 | ≤10Pa |
| 三路供氣系統 | |
| 流量計類型 | 質子流量控制器 |
| 準確度 | ±0.35% |
| 重復精度 | ±0.2% |
| 響應時間 | 氣特性：1 Sec |
| 工作壓差范圍 | 0.1～0.5 MPa |
| 氣路管道 | 304不銹鋼 |
| 連接接通 | 雙卡套不銹鋼接頭 |
| 氣體種類 | 氮氣、氬氣、甲烷、二氧化碳、氫氣等等（50～500sccm） |
| 進氣控制 | 每路氣體均可定時通斷，根據工藝自動切換所需氣體 |
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